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准分子激光器248nm
详细信息| 询价留言品牌：ATL 型号：ATLEX 加工定制：是 波段范围：准分子 激光方式：化学式 工作物质：气体 光路径：参考说明 输出形式：参考说明 传输信号：参考说明 输出波长：参考说明 mm 线宽：参考说明 mm 传输信号：参考说明 248nm准分子激光器产品特点：
全部实现风冷，无需水冷；
结构紧凑，脉冲频率高，*高重复频率到1kHz；
全新技术金属-陶瓷腔体；
光束均匀性好
集成的真空泵和卤素滤光片
激光头体积<3L
提供能量稳定模式，保证能量稳定输出；
248nm准分子激光器应用：
微加工
激光融蚀
医学（眼睛手术）
光谱
计量
光纤布拉格光栅刻写
248nm准分子激光器参数
ATLEX-300-I 参数ATLEX-300-I 参数 气体介质 F2 ArF KrF XeCl XeF 单位 波长 157 193 248 308 351 nm 高压开关技术 固态开关 *大脉冲能量1 1 10 15 8 7 mJ *大平均功率 0.2 2.4 4.0 2.0 1.7 W *大重复频率 300 Hz 脉宽2 5-8 ns 光斑尺寸（V*H） 4*6 mm 光束发散角（V*H） 1*2 mrad 能量稳定性 <3 % 尺寸（L*W*H） 540*470*370 mm 重量 60 kg 制冷 风冷 供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz - 在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
- 典型值，半高全宽（FWHM）
ATLEX-500-I 参数ATLEX-500-I 参数 气体介质 F2 ArF KrF XeCl XeF 单位 波长 157 193 248 308 351 nm 高压开关技术 固态开关 *大脉冲能量1 1 10 15 8 7 mJ *大平均功率 0.5 4.0 6.5 3.0 2.5 W *大重复频率 500 Hz 脉宽2 5-8 ns 光斑尺寸（V*H） 4*6 mm 光束发散角（V*H） 1*2 mrad 能量稳定性 <3 % 尺寸（L*W*H） 540*470*370 mm 重量 60 kg 制冷 风冷 供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz - 在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
- 典型值，半高全宽（FWHM）
ATLEX-1000-I 参数ATLEX-1000-I 参数 气体介质 ArF KrF 单位 波长 193 248 nm 高压开关技术 固态开关 *大脉冲能量1 10 15 mJ *大平均功率 4.0 6.5 W *大重复频率 1000 Hz 脉宽2 5-8 ns 光斑尺寸（V*H） 4*6 mm 光束发散角（V*H） 1*2 mrad 能量稳定性 <3 % 尺寸（L*W*H） 540*470*370 mm 重量 60 kg 制冷 风冷 供电要求 230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz - 在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
- 典型值，半高全宽（FWHM）
ATLEX-300-FBG 参数ATLEX-300-FBG 参数 气体介质 ArF KrF 单位 波长 193 248 nm 高压开关技术 固态开关 *大脉冲能量1 10 15 mJ *大平均功率 2.4 4.0 W 空间相关性(垂直方向) >300 >300 um *大重复频率 300 Hz 脉宽2 5-8 ns 光斑尺寸（V*H） 4*6 mm 光束发散角（V*H） 1*2 mrad 能量稳定性 <3 % 尺寸（L*W*H） 540*470*370 mm 重量 60 kg 制冷 风冷 供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz - 在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
- 典型值，半高全宽（FWHM）
ATLEX-500-FBG 参数ATLEX-500-FBG 参数 气体介质 ArF KrF 单位 波长 193 248 nm 高压开关技术 固态开关 *大脉冲能量1 10 15 mJ *大平均功率 4.0 6.5 W 空间相关性(垂直方向) >300 >300 um *大重复频率 500 Hz 脉宽2 5-8 ns 光斑尺寸（V*H） 4*6 mm 光束发散角（V*H） 1*2 mrad 能量稳定性 <3 % 尺寸（L*W*H） 540*470*370 mm 重量 60 kg 制冷 风冷 供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz - 在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
- 典型值，半高全宽（FWHM）
ATLEX-LR 参数ATLEX-LR 参数 气体介质 ArF 单位 波长 193 nm *大脉冲能量1 12 mJ *大稳定输出能量 10 mJ 脉宽2 5 Ns 光斑尺寸（V*H） 4*6 mm 光束发散角（V*H） 1*2 mrad 能量稳定性 <2 % 尺寸（L*W*H） 540*470*370 mm 重量 60 kg 制冷 风冷 供电要求 230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz - 在低重复频率下测量，应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
- 典型值，半高全宽（FWHM）
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